Magnetronové naprašování je nová metoda fyzikálního nanášení parou. Využívá ionty generované zdrojem iontů k urychlení agregace ve vakuu k vytvoření vysokorychlostního energetického iontového paprsku, který bombarduje pevný povrch. Ionty si vyměňují kinetickou energii s atomy na pevném povrchu, aby atomy na pevném povrchu opustily pevnou látku a usadily se na povrchu substrátu. Ostřelovaná pevná látka je surovinou pro přípravu naprašovacího depozičního filmu, který se nazývá naprašovací terč. Stručně řečeno, systém elektronového děla se používá k emitování a zaostřování elektronů na spotřebovaný materiál, což způsobuje, že rozprašované atomy následují princip přeměny hybnosti a oddělují se od materiálu s vysokou kinetickou energií, letí směrem k substrátu a ukládají se do filmu. Tento spotřebovaný materiál se nazývá materiál rozprašovací elektrody. Magnetronové naprašování se jako relativně vyspělá technologie, která byla vyvinuta, používá v mnoha oblastech. Ve srovnání s metodou odpařování má v mnoha ohledech zcela zřejmé výhody. Různé typy rozprašovacích terčů byly široce používány v polovodičových integrovaných obvodech, solární fotovoltaice, záznamových médiích, planárních displejích a povlakech povrchu obrobků.
Naprašovací terč se skládá hlavně z terče, zadní desky a dalších částí, terčový terč je terčový materiál ostřelovaný vysokorychlostním iontovým paprskem a patří k základní části naprašovacího terče, v procesu naprašování je terčový terč zasažen ionty, jejich povrchové atomy jsou rozprášeny a naneseny na substrát za vzniku tenkého elektronického filmu; z důvodu nízké pevnosti kovu s vysokou čistotou a pro dokončení procesu naprašování je třeba instalovat rozprašovací terč do speciálního stroje, uvnitř stroje je vysokonapěťové prostředí s vysokým vakuem. Proto musí být polotovary naprašovací elektrody z kovů o velmi vysoké čistotě spojeny se základní deskou různými svařovacími procesy a nosná deska hraje roli hlavně při fixaci naprašovací elektrody a musí mít dobrou vodivost a tepelnou vodivost.

Existuje mnoho typů naprašovacích terčů, dokonce i naprašovací terče ze stejného materiálu mají různé specifikace. Podle různých metod klasifikace lze rozprašovací terče rozdělit do různých kategorií a hlavní klasifikace jsou následující:

Klasifikace podle tvaru
Dlouhý cíl
Čtvercový cíl
Kulatý terč, trubkový terč

Klasifikace podle chemického složení
Kovový terč
Cíl ze slitiny
Terče z keramických směsí

Klasifikace podle oblasti použití
Cíle pro polovodičové čipy, terče s plochým panelem, terče pro solární články, terče pro ukládání informací, terče pro úpravy nástrojů, terče pro elektronická zařízení, terče pro barevné dekorace atd.
Nízký obsah nečistot
Hladký povrch
Přesná tolerance velikosti
Vysoká hustota
Nízký obsah plynu
Jednotná vnitřní struktura
Zákazník zašle RFQ e-mailem
- Materiál
- Čistota
- Rozměr
- Množství
- Výkres
Odpovězte do 24 hodin e-mailem
- Cena
- Cena poštovného
- Dodací lhůta
Potvrďte podrobnosti
- Platební podmínky
- Obchodní podmínky
- Podrobnosti o balení
- Čas doručení
Potvrďte jeden z dokumentů
- Nákupní objednávka
- Proforma faktura
- Formální nabídka
Platební podmínky
- T/T
- PayPal
- AliPay
- Kreditní karta
Uvolněte plán výroby
Potvrďte podrobnosti
Obchodní faktura
seznam balení
Balení obrázků
Certifikát kvality
Dopravní cesta
Expresně: DHL, FedEx, TNT, UPS
Vzduchem
U moře
Zákazníci provedou celní odbavení a obdrží balíček
Těšíme se na další spolupráci